China a partir de la década de 1970 comenzó a estudiar la tecnología de recubrimiento CVD, porque la tecnología dedicada fuertes unidades de investigación interna no es mucho. A mediados de los años ochenta, el desarrollo de la tecnología de recubrimiento CVD herramienta de un punto de vista práctico, el nivel de tecnología y el nivel internacional fue considerable, pero en la próxima década, el desarrollo es relativamente lenta (similar a un estado de la investigación en el extranjero); noventa la investigación y la etapa de desarrollo, china comenzaron se espera MT-CVD tecnología, la investigación y el desarrollo de procesos y equipos de MT-CVD para ser completado sustancialmente en el año 2001, de acuerdo con los objetivos del estudio, la tecnología y el equipo para alcanzar el nivel avanzado internacional; estudio de la tecnología start PCVDs a principios de los años noventa, la tecnología PCVDs se utiliza principalmente para revestimientos de moldes, herramientas que se utilizan actualmente en el campo es todavía muy limitada de corte. En general, el nivel de nivel de desarrollo general de la brecha tecnológica nacional e internacional no es ECV, la tecnología de MT-CVD a desarrollar, el nivel general de nuestro país en el campo de la herramienta de recubrimiento CVD será sustancialmente para mantener el ritmo con el nivel avanzado internacional.